| 发明名称 | 光刻接触元件 | ||
| 摘要 | 一种通过光刻技术形成包括弹性接触元件的互连的方法。在一个实施例中，该方法包括把一掩膜材料涂到衬底的第一部分上，该掩模材料具有能限定弹性结构的第一部分的开口；把一结构材料(例如，导电材料)沉积到开口中，并给开口过量填充该结构材料；除去结构材料的一部分；以及除去掩膜材料的第一部分。在此实施例中，弹性结构的第一部分的至少一部分没有掩膜材料。在本发明的一个方面，该方法包括对掩膜材料层和结构材料进行平面化，以除去结构材料的一部分。在另一个方面，所形成的弹性结构包括支柱部分、横梁部分和尖端结构部分中之一。 | ||
| 申请公布号 | CN1276259C | 申请公布日期 | 2006.09.20 |
| 申请号 | CN99814036.8 | 申请日期 | 1999.12.01 |
| 申请人 | 佛姆法克特股份有限公司 | 发明人 | G·L·马蒂厄;B·N·埃尔德里奇;G·W·格鲁布 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01);G01R3/00(2006.01);H01L23/48(2006.01);H01L21/48(2006.01);G01B7/34(2006.01);G01N27/00(2006.01) | 主分类号 | G01R1/067(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 洪玲 |
| 主权项 | 1.一种接触元件，包括：耦合于-电子部件的导电支柱；与所述导电支柱耦合的导电横梁，所述导电横梁包括电镀在一晶种材料上的横梁材料；以及与所述导电横梁耦合的导电尖端，其中所述晶种材料使所述导电横梁耦合于所述导电支柱或所述导电尖端之一。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||