| 发明名称 |
Method for controlling the sheet resistance of thin film resistors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1237164(B1) |
申请公布日期 |
2006.09.20 |
| 申请号 |
EP20020004247 |
申请日期 |
2002.02.26 |
| 申请人 |
NORTHROP GRUMMAN CORPORATION |
发明人 |
LAMMERT, MICHAEL D. |
| 分类号 |
H01C17/24;H01L23/52;H01L21/02;H01L21/3205;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
H01C17/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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