发明名称
摘要
申请公布号 JP3823805(B2) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 JP20010332092 申请日期 2001.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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