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发明名称 GAS PROVIDING MEMBER AND PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060100246(A) 申请公布日期 2006.09.20
申请号 KR20060023794 申请日期 2006.03.15
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 TOMITA YASUMITSU;UNNO YUTAKA
分类号 H01L21/02;H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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