发明名称 TRENCH ISOLATION METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060098570(A) 申请公布日期 2006.09.19
申请号 KR20050017730 申请日期 2005.03.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BAEK, MI JONG;YOU, JUN YEOUL
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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