发明名称 METHOD FOR DEPOSITING RU THIN FILM ON WAFER
摘要
申请公布号 KR100628000(B1) 申请公布日期 2006.09.19
申请号 KR20050050135 申请日期 2005.06.11
申请人 INTEGRATED PROCESS SYSTEMS LTD. 发明人 KIM, SOO HYUN;LEE, KI HOON;LIM, HONG JOO;KANG, HYUN SUK;LEE, SAHNG KYU;SEO, TAE WOOK;CHANG, HO SEUNG
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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