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发明名称 Method of manufacturing a capacitor in a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100624903(B1) 申请公布日期 2006.09.19
申请号 KR19990060534 申请日期 1999.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/8242 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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