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经营范围
发明名称
ELECTROSTATIC CHUCK OF SEMICONDUCTOR ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060098973(A)
申请公布日期
2006.09.19
申请号
KR20050019598
申请日期
2005.03.09
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, EUNG SU
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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