发明名称 Pressure control system for semiconductor processing chamber
摘要
申请公布号 KR100621799(B1) 申请公布日期 2006.09.19
申请号 KR20040085359 申请日期 2004.10.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址