发明名称 METHOD FOR FORMING ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100621816(B1) 申请公布日期 2006.09.18
申请号 KR20040117078 申请日期 2004.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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