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发明名称
GROWING METHOD OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS FOR GROWING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060098417(A)
申请公布日期
2006.09.18
申请号
KR20060081710
申请日期
2006.08.28
申请人
SILTRON INC.
发明人
CHO, HYON JONG
分类号
H01L21/208
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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