发明名称 COMPOSITION OF SLURRY IMPROVING SURFACE QUALITY ON SILICON WAFER AND POLISHING SILICON WAFER USING THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060097786(A) 申请公布日期 2006.09.18
申请号 KR20050018492 申请日期 2005.03.07
申请人 CHEIL INDUSTRIES INC.;MEMC KOREA CO., LTD. 发明人 ROH, HYUN SOO;PARK, TAE WON;LEE, TAE YOUNG;LEE, IN KYUNG;LEE, CHIN HO;KIM, YOUNG WOO;CHOI, MOON RO;KIM, JONG SEOP
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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