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发明名称 LAMINATOR FOR SECURING DETECTION AND REMOVAL OF PARTICLES ON PATTERNED SIDE OF WAFER AND TAPPING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060097897(A) 申请公布日期 2006.09.18
申请号 KR20050018789 申请日期 2005.03.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JONG SU
分类号 H01L21/66;H01L21/304 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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