发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A COMPOSITE DIELECTRIC LAYER SUBJECTED TO A SURFACE TREATMENT
摘要
申请公布号 KR20060097807(A) 申请公布日期 2006.09.18
申请号 KR20050018525 申请日期 2005.03.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, HAN MEI;YOON, KYOUNG RYUL;LEE, SEUNG HWAN;PARK, KI YEON;CHOI, DAE SIK
分类号 H01L21/314;H01L27/115 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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