工作杆式热处理装置(一)

摘要

本发明之目的在于提供一种可缩短快速加热之升温时间，或缩短加热处理时间之工作杆式热处理装置。根据本实施例之工作杆式热处理装置，由于固定杆及可动杆系由透明的石英管所构成，因此从卤素加热器(加热体)发射出之辐射能量可通过前述透明的石英管到达基板里面，相较于知之工作杆式热处理装置，可轻易在短时间内急速加热至均一温度，且可缩短升温时间或加热处理时间。故，可尽可能地减少热处理对基板特性所产生的影响。