| 摘要 |
本发明提供一种从开始拉提到结束为止，可以高度抑制散射体之形成而使熔融液保持浅状态下，能稳定地育成单结晶体，且能抑制结晶成长中发生结晶切断或气泡混入等之氟化金属单结晶体的拉提装置以及使用之该装置之氟化金属单结晶体之制造方法。收容原料氟化金属熔融液之坩埚，使用由外坩埚及内坩埚所构成之双重构造坩埚。拉提单结晶时，随收容于内坩埚中之熔融液因单结晶体之育成而减少，使内坩埚相对于外坩埚之收纳深度加深，而将收容于外坩埚中之熔融液补给到内坩埚中，使内坩埚中之熔融液之液量能维持在一定范围。又，在外坩埚外面及内坩埚内面间之间隙空间朝上方开放之开口部，或较之该开口部更下方之外坩埚之侧壁内面及内坩埚之侧壁外面间之位置，设置至少能遮盖该位置之一部分之遮盖部材料。 |
