化学气相沉积反应器

摘要

本案系指一种化学气相沉积反应器，系由一反应管、一基板、一第一气体输入管、一第二气体输入管、以及一固态粒子源所构成，藉由该第一气体输入管及该第二气体输入管所分别提供之主反应气体彼此混合后，再根据其处于适当温度之下之氢化物或金属有机气相 积反应，于该基板上形成包含该固态粒子的一薄膜；该化学气相 积反应器可在无须使用光罩层的情形下制作出 积变化横越成长方向的薄膜。