搬送系统、基板处理装置、及搬送方法

摘要

搬送系统1舖设有以盖体5覆盖之搬送路，通过设在各处理装置10、100、200之前方侧的载置台11等之下方。藉由将搬送路之位置置于下方，不仅载置台11等之占有区域以及搬送路相关区域之一部分可以共用，而达成省空间化，且可以提高由前方对各处理装置10、100等的存取性，而可实现易于进行维护的布置。载置台11等之载置面11d等设定成可供既存之天花板搬送系统2以及地板搬送系统之无人搬送车3等载置之高度，而确保其与其他搬送系统之共存性。