线宽测定方法

摘要

本发明提供一种可以保持稳定的对比度状态的线宽测量方法。本发明的线宽测量方法，在由反射光及透射光同时照明测量试料的两侧，来测量半透明膜的线宽的线宽测量装置中，上述测量试料是在透明基板上形成不透明图案、并跨着透明基板与不透明图案而形成半透明膜，在测量半透明膜的线宽时，对透明基板和不透明图案分别指定调光区域后分别调光，然后测量上述半透明膜的线宽。