| 摘要 |
本发明揭示一种使用在光学扫描装置中之电磁扫描微镜。此种被设计来使用电磁力而使输入光束反射之电磁微镜，系可执行一种旋转操作，藉以在一条反射光束之路径中达成一种调变。此种电磁扫描微镜系包含有：一个可供应磁场之磁场产生器；一片面镜板，其系具有一片反射平面，和一个附接至此反射平面之背表面的框架结构；一片环绕该面镜板之基板；一对可使该等面镜板与基板相连结之扭力杆；和一种磁性材料，其系设置在上述面镜板之反射平面的背表面处，以及系适使藉由与上述磁场产生器所供应之磁场相互作用，而产生一种驱动力。该面镜板可藉由使用上述磁性材料所产生之驱动力，来执行一种环绕该等用以界定上述面镜板之旋转轴的扭力杆之旋转操作。 |
