测量及/或分析气流中的微粒的系统及方法

摘要

一种用于测量和分析气体进料流内微粒的系统及其方法。在一个方面，该系统包括并联排列的微粒计数器和微粒捕捉过滤器。在另一个方面，该系统包括净化装置以从气体进料流去除痕量分子杂质来减小存在的杂质。