| 摘要 |
本发明系关于一种藉由至少一电子放电电极(22)、至少一电子收集电极(22)、以及至少一粒子射束(BI)的来源来测试或测量电气元件(10、11、13)的方法，其中包含：藉由该粒子射束弹射出该放电电极(22)中的电子，并且将该放电电极所供应的电子注入一元件(10、11、13)之中；以及藉由该粒子射束弹射出一元件(10、11、13)中的电子，并且由该收集电极来收集从该元件中被弹射出的电子。根据本发明，从该放电电极(22)中弹射出电子包含于该放电电极上施加一因入射粒子射束(BI)于至少一元件上反射所造成的反射粒子射束(BR)。其优点如下：简化将电子注入一元件中的步骤，并且简化该等放电与收集电极的结构。 |
