涂布装置、有机材料薄膜之形成方法、有机电激发光面板制造装置

摘要

提供不要加热室和冷却室的涂布装置。在移动于X轴方向的涂布对象物14上，配置可往复移动于Y轴方向的吐出器31与雷射照射状置32a、32b，对从吐出器31吐出到涂布对象物14之一部分表面的有机材料照射雷射光，予以加热乾燥或是重叠、薄膜化。重覆进行吐出器31与雷射照射装置32a、32b之Y轴方向的移动与涂布对象物14之X轴方向的移动，在涂布对象物14的特定区域形成有机材料的薄膜。因涂布与雷射光照射为并行进行，故作业效率高。又，因涂布对象物14不会昇成高温，故不需要冷却工程。