GaN基板之研磨方法

摘要

在本发明之GaN基板之研磨方法中，首先，一面将含研磨材料23与润滑剂25之研磨液27供应至平台101，一面利用平台101与研磨液27研磨GaN基板(第1研磨步骤)。其次，一面将润滑剂31供应至埋入研磨材料29之平台101上，一面利用埋入研磨材料29之平台101研磨GaN基板(第2研磨步骤)。