减压乾燥装置

摘要

本发明之目的在于提供一种减压乾燥装置，其可防止光阻剂等之薄膜成分固着于排气泵中。本发明之减压乾燥装置，包含覆盖基板W周围之腔室10、排气泵50、第1开闭阀41、第2开闭阀42以及第3开闭阀43。藉由打开第1开闭阀41使腔室10内排气，而对形成于基板W之主面上之光阻剂进行减压乾燥后，关闭第1开闭阀而使上述腔室10停止排气。其次，打开第2开闭阀42，将惰性气体供应给排气泵50，同时打开第3开闭阀43，将惰性气体供应至上述腔室10内。