发明名称 共平面量测板
摘要 一种共平面量测板,其系包含有一基板、复数个量测垫以及复数个导体,该些量测垫系设置于该基板之一第一表面,每一量测垫系具有一平面,以利一高频探针之共平面探触,该些导体系设置于该基板之一第二表面,该基板之复数个导孔系电性导通对应之该些量测垫与该些导体,且每一导体系具有一弧形凹面,以接触一待测物之复数个球形电极,当对该待测物进行量测时,系以该些导体之该些弧形凹面接触该待测物之该些球形电极,一高频探针藉由该量测垫量测该待测物,以防止该高频探针刮伤该待测物并可减少该高频探针受污染,且该共平面量测板系可重覆使用。
申请公布号 TW200632334 申请公布日期 2006.09.16
申请号 TW094107167 申请日期 2005.03.09
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 郑宏祥
分类号 G01R31/00 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号