摘要 |
一种共平面量测板,其系包含有一基板、复数个量测垫以及复数个导体,该些量测垫系设置于该基板之一第一表面,每一量测垫系具有一平面,以利一高频探针之共平面探触,该些导体系设置于该基板之一第二表面,该基板之复数个导孔系电性导通对应之该些量测垫与该些导体,且每一导体系具有一弧形凹面,以接触一待测物之复数个球形电极,当对该待测物进行量测时,系以该些导体之该些弧形凹面接触该待测物之该些球形电极,一高频探针藉由该量测垫量测该待测物,以防止该高频探针刮伤该待测物并可减少该高频探针受污染,且该共平面量测板系可重覆使用。 |