| 摘要 |
本发明描述一种保护一位于一腔室中之曝露于远紫外线(EUV)辐射之镜面的一表面之方法。该EUV辐射产生自一发射EUV辐射与电学带电粒子之电浆。将有机分子提供至该腔室，该等有机分子与该EUV辐射相互作用以在该镜面表面上形成含碳沉积物之一涂层。发射自该电浆之该等带电粒子撞击该等沉积物，引起该等沉积物自该镜面表面溅射。藉由控制沉积物沉积至该镜面表面上之速度及自该镜面表面移除该等沉积物之速度中之至少一者，可主动地控制该涂层之厚度以防止该等带电粒子直接撞击至该镜面表面上，以及归因于该涂层之形成而将对该镜面表面之反射率的损耗减至最低。该方法亦适用于保护一用于传输来自该腔室之EUV辐射的窗口之表面。 |
