发光二极体之制造方法

摘要

一种发光二极体之制造方法，至少包含：提供一基板，其中此基板上至少包括依序堆叠之一第一导电型披覆层、一主动层、一第二导电型披覆层、一超晶格接触层以及一透明导电氧化层；形成一蚀刻罩幕层位于部分之透明导电氧化层上，其中蚀刻罩幕层为绝缘；利用蚀刻罩幕层进行一定义步骤，以移除透明导电氧化层之一暴露部分、以及透明导电氧化层之暴露部分底下之超晶格接触层、第二导电型披覆层、与主动层，直至暴露出第一导电型披覆层；移除蚀刻罩幕层；以及形成一第一导电型电极位于第一导电型披覆层之暴露部分上，以及一第二导电型电极位于透明导电氧化层上。