用于真空泵浦之前级预处理

摘要

本发明系一种用于为许多含有不相容气体之真空处理腔直排气之装置及方法。将该等气体引导至一含有预处理器件之低气压消除腔室。在该消除腔室中处理该等气体以使得其相容。然后，经由一前级泵浦将该等相容气体自该消除腔室中作为单一流而抽出。