| 发明名称 |
硫醇化合物,使用该化合物之感光性组成物及黑色矩阵光阻组成物 |
| 摘要 |
本发明系有关以下式(1)094137311-p01.bmp(式中，R^1、R^2及n系与说明书中之记载相同)表示之硫醇化合物、其制造方法及使用该化合物之高感度，且硷显像时之细线图案之线宽保持性，即显像界限优异之感光性组成物及黑色矩阵光阻组成物。094137311-p01.bmp |
| 申请公布号 |
TW200631930 |
申请公布日期 |
2006.09.16 |
| 申请号 |
TW094137311 |
申请日期 |
2005.10.25 |
| 申请人 |
昭和电工股份有限公司 |
发明人 |
鎌田博稔;大西美奈;室伏克己 |
| 分类号 |
C07C323/52;C07C319/08;G03F7/028;G03F7/004;G02B5/20 |
主分类号 |
C07C323/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
