形成三度空间PVD靶材之方法METHODS OF FORMING THREE-DIMENSIONAL PVD TARGETS

摘要

本发明包括多个方法，藉由其利用热均衡加压来形成物理汽相沉积靶材。在特定态样中，该等物理汽相沉积靶材可含有铱、钴、钌、钨、钼、钛、铝与钽中的一或多种；及／或铝化物、矽化物、碳化物与硫族化物中的一或多种。本发明亦包括三度空间靶材，其包括铱、钴、钌、钨、钼、钛、铝与钽中的一或多种。