具有锆氧化物之电容器及其制法

摘要

提供一种具有氧化锆之电容器及其制法。该方法包括：形成储存节点；在储存节点上形成多层介电结构，所述多层介电结构包括氧化锆(ZrO2)层和氧化铝(Al2O3)层；和在多层介电结构上形成板状电极。