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发明名称
用于半导体装置的非活性防护环
摘要
本发明揭示一种形成于一半导体区域中之防护环,该半导体区域系一肖特基接面或肖特基二极体之部分。藉由将离子植入到该半导体接触层中,但未使该半导体接触层完全退火以形成一高阻抗区域来形成该防护环。该防护环可位于该层之边缘处,或者位于离该层之边缘一距离之处。在该层之顶部上形成一肖特基金属接点,且该肖特基接点之该等边缘系置放于该防护环之顶部上。
申请公布号
TW200633030
申请公布日期
2006.09.16
申请号
TW094127056
申请日期
2005.08.09
申请人
维洛克斯半导体公司
发明人
朱廷刚;艾利克斯 西路兹;麦可 莫菲;米兰 波菲斯提克;布莱安 希尔顿;刘琳蔺
分类号
H01L21/28;H01L21/265
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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