具有遮蔽板的阴影框

摘要

提供一种于基板处理期间遮蔽大面积基板之各部份的方法及装置。在此提供一种包含阴影框及一或多块遮蔽板之阴影框组件。该阴影框组件产生在一大面积基板上界定多数处理区域之处理孔口。