具有高磨蚀力的导电垫

摘要

本发明揭示一种用于电化学机械研磨中一平坦化或研磨物质之方法与设备。该研磨物质为一垫片组件，其具有在一处理表面上之复数个导电区块与复数个磨蚀区块。磨蚀区块与导电区块至少包含复数个接触构件，其中该复数个接触构件系用以对一半导体基材施加偏压而亦提供磨蚀性质，以提升沈积在基材上材料之移除。