微影装置与以此装置制造元件之方法

摘要

一种包围装满液体之一空间之密封部件，其在较低表面具有一凹口，该凹口朝向一相对低的压力源及一相对较高的压力源，且经由该凹口自该密封部件与基板之间抽出液体及／或空气。