元件处理系统、资讯显示方法、及记录有程式之记录媒体、曝光装置、测定、检查装置

摘要

本发明提供一种能更正确地掌握元件处理装置之运作状况、当其结果产生不良等时能迅速对应之元件处理系统、资讯显示方法、以及程式。设于元件制造工厂之支援装置，系从元件处理装置收集资料，并根据所收集之资料解析元件处理装置之运作状况等。此支援装置，具备：用以设定元件处理装置所使用之收集条件的资料收集条件设定部231、用以设定对所收集资料进行统计处理之处理条件的统计处理条件设定部232、以及用以设定显示所收集资料或统计处理之处理结果时之显示条件的图表显示条件设定部233。