用以化学机械研磨之多用途研磨浆施放臂

摘要

一种可调整的研磨浆供应设备，用于化学机械研磨制程中。研磨浆供应臂以可转动的方式安装于研磨设备上，且含有一研磨浆供应组件，其中研磨浆供应组件可沿着研磨浆供应臂之长边滑动。上述之可调整结构的组合可以让使用者于研磨垫中需要的位置施放研磨浆，其中研磨垫系位于研磨设备上。先前所述之研磨浆供应设备可使用马达驱动，如此一来研磨浆供应臂即可自动地旋转，且研磨浆供应组件亦可自动地沿着研磨浆供应臂滑动。而马达可使用电脑控制或靠使用者手动调整。一种使用可调整的研磨浆供应设备的方法亦同时揭露。