形成适合光学用与红外线波长用之线栅偏光板的非微影术方法

摘要

一种用于形成多条平行金属线条于一薄膜弹性体材料的基板上的方法以及一种用该方法形成的线栅偏光板。藉由用水溶性聚合物涂布该基板同时拉伸该基板而形成一牺牲层。将现存之拉力移除，留下带有皱纹之牺牲层材料的起伏拓朴（undulating topology）。然后，以歪斜角沉积一遮罩层，然后藉由施加第二拉力使其破碎成平行的材料线条。牺牲层中未被遮罩的部份以乾蚀刻移除。然后，沉积一金属层且采用剥离制程移除该牺牲层的残留部份以及沉积于其上的材料。在移除第二拉力后，该基板恢复成未受应力长度而其上带有预定周期性的金属线。