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发明名称
用于电镀应用之浸没处理
摘要
本发明系有关于一种将基板浸没于电镀溶液中之方法。在一个实施例中,此方法包含当浸没基板于电镀溶液中时,施加第一波形至基板上;当基板完全浸没至电镀溶液中时,随即停止对基板施加第一波形;以及在基板进入电镀位置之前,施加第二波形至基板上。
申请公布号
TW200632146
申请公布日期
2006.09.16
申请号
TW095103955
申请日期
2006.02.06
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
哈菲兹侯曼;班凯约瑟夫;罗森菲德亚伦;韦伯廷;亚哈伦约瑟夫;麦克古克克里斯多夫瑞斯
分类号
C25D5/18;H01L21/768
主分类号
C25D5/18
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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