发明名称 用于电镀应用之浸没处理
摘要 本发明系有关于一种将基板浸没于电镀溶液中之方法。在一个实施例中,此方法包含当浸没基板于电镀溶液中时,施加第一波形至基板上;当基板完全浸没至电镀溶液中时,随即停止对基板施加第一波形;以及在基板进入电镀位置之前,施加第二波形至基板上。
申请公布号 TW200632146 申请公布日期 2006.09.16
申请号 TW095103955 申请日期 2006.02.06
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 哈菲兹侯曼;班凯约瑟夫;罗森菲德亚伦;韦伯廷;亚哈伦约瑟夫;麦克古克克里斯多夫瑞斯
分类号 C25D5/18;H01L21/768 主分类号 C25D5/18
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 美国