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发明名称 光阻组成物
摘要 一种化学放大型正光阻组成物，系包括含有缩醛基和脂环基之树脂。本发明之光阻可明显地表现出增强的微影特性。本发明较佳之光阻系包括一种或多种光酸产生剂类化合物及一种或多种酚系树脂，该酚系树脂包括一个或一个以上光酸不安定缩醛基及一个或一个以上脂环基如金刚烷基。094141244-p01.bmp
申请公布号 TW200632556 申请公布日期 2006.09.16
申请号 TW094141244 申请日期 2005.11.24
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 卡麦隆;李东雨;崔夫纳斯三世 彼得;史威森;成镇旭
分类号 G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国
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