减少光罩沉淀缺陷之方法

摘要

在一半导体生产制程中，有一运送光罩之容器，而光罩包含一由绝缘材料制成之基底，且此基底表面沉积了一金属层。本发明揭露一种隔离和移除环境污染物之方法，此方法包含以惰性气体充填此容器，藉以清除其中之环境污染物，例如以容器的入口供净化用之惰性气体通入，而容器的出口供容器内之不纯物排出。