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发明名称 VERFAHREN UND SYSTEM ZUR HALBLEITERKRISTALLHERSTELLUNG MIT TEMPERATURVERWALTUNG
摘要
申请公布号 AT335869(T) 申请公布日期 2006.09.15
申请号 AT19990963277T 申请日期 1999.12.02
申请人 AIXTRON AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HEUKEN, MICHAEL;STRAUCH, GERT;PROTZMANN, HARRY;JUERGENSEN, HOLGER;SCHOEN, OLIVER;SCHMITZ, DIETMAR
分类号 C23C16/34;C23C16/46;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/318;(IPC1-7):C23C16/46;C23C16/30;C30B25/02;C30B29/40 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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