发明名称 APPARATUS FOR CLEANING FLAT DISPLAY PANEL
摘要
申请公布号 KR20060097163(A) 申请公布日期 2006.09.14
申请号 KR20050018190 申请日期 2005.03.04
申请人 DMS CO., LTD. 发明人 KIM, JEONG CHOL;PARK, HO YOUN
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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