发明名称 Nano-patterning method using Atomic Force Microscope based on Voltage Programming
摘要
申请公布号 KR100621790(B1) 申请公布日期 2006.09.14
申请号 KR20040045942 申请日期 2004.06.21
申请人 发明人
分类号 B82B3/00;G01Q60/24 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址