| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements sowie ein nach dem Verfahren hergestelltes Halbleiterbauelement, wobei das Halbleiterbauelement insbesondere eine bewegliche Masse aufweist |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50110647(D1) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE2001510647 |
申请日期 |
2001.12.06 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BENZEL, HUBERT;WEBER, HERIBERT;SCHAEFER, FRANK |
| 分类号 |
B81B3/00;G01P9/04;B81C1/00;C23F1/24;G01C19/56;G01P15/12;H01L21/306;H01L29/84 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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