发明名称 DRUCKWANDLER MIT THERMISCHER PLATTE UND FEDER
摘要
申请公布号 DE60113722(T2) 申请公布日期 2006.09.14
申请号 DE20016013722T 申请日期 2001.12.21
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 POULIN, M.;MATHEW, E.;MINDLIN, LEONID;QUIGLEY, J.;BLANKENSHIP, D.
分类号 G01L9/12;G01L19/04;G01L9/00;G01L19/14 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
地址