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发明名称
DRUCKWANDLER MIT THERMISCHER PLATTE UND FEDER
摘要
申请公布号
DE60113722(T2)
申请公布日期
2006.09.14
申请号
DE20016013722T
申请日期
2001.12.21
申请人
MKS INSTRUMENTS INC.
发明人
POULIN, M.;MATHEW, E.;MINDLIN, LEONID;QUIGLEY, J.;BLANKENSHIP, D.
分类号
G01L9/12;G01L19/04;G01L9/00;G01L19/14
主分类号
G01L9/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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