Leitbahnanordnung sowie zugehörige Herstellungsverfahren

摘要

Die Erfindung betrifft eine Leitbahnanordnung sowie zugehörige Herstellungsverfahren, wobei auf einem elektrisch leitenden Trägersubstrat (1) eine dielektrische Schicht mit einer darauf liegenden elektrisch leitenden Leitbahn ausgebildet ist. Unterhalb der Leitbahn bzw. zwischen Leitbahn (3, 4) und Trägersubstrat (1) ist hierbei ein Hohlraum (6) ausgebildet, wodurch die parasitären Kapazitäten der Leitbahn wesentlich verringert werden können.