| 发明名称 |
FOTORESIST-ENTFERNUNGS-/REINIGUNGSZUSAMMENSETZUNGEN MIT AROMATISCHEN SÄUREINHIBITOREN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60118015(T2) |
申请公布日期 |
2006.09.14 |
| 申请号 |
DE20016018015T |
申请日期 |
2001.09.18 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
PETERS, W.;RIDDLE, L. |
| 分类号 |
G03F7/42;B08B3/08;C09D9/00;C11D1/04;C11D1/08;C11D3/00;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;C11D11/00;C23G1/06;C23G1/18;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/311 |
主分类号 |
G03F7/42 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
