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发明名称 FILM FORMATION METHOD AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
摘要
申请公布号 KR20060097619(A) 申请公布日期 2006.09.14
申请号 KR20060021536 申请日期 2006.03.08
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 CHOU PAO HWA;HASEBE KAZUHIDE
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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